390 Micro-Ion® ATM Modular Vacuum Pressure Transducers
이 제품은 입증 된 Micro-Ion 이온화 게이지 기술과 소형 Conductron Heat Loss Sensor 및 2 개의 Piezo Resistive Sensor를 결합하여 고진공부터 대기압까지 연속적이고 정확한 압력 측정을 제공합니다. 또한 Diaphragm Sensor를 사용하여 대기압까지의 정확한 절대 압력과 함께 진공 챔버와의 차압을 정확히 측정할 수 있습니다.
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특징 및 장점
- 이 제품은 1.0E-9 Torr부터 대기압까지 연속적인 압력 측정을 제공합니다.
- 대기압에서의 정밀한 차압 측정을 지원합니다.
- Dual Filament로 장비 가동시간을 늘립니다.
- 공정 제어를 위한 Set Point Relays가 있습니다. (Option)
- Analog Output, RS-485 또는 DeviceNet Interface를 사용할 수 있습니다. (Option)
- 제품에서 LCD Display를 활용 할 수 있습니다. (Option)
