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    E29H Baratron® Manometer

    The E29H는 Etch Process으로 인한 Drift를 해결하기 위한 솔루션입니다. MKS는 산업 표준인 Baratron® capacitance manometer를 기반으로 하여 센서 내에 프로세스 부산물이 Diaphragm에 증착되는 것을 최소화하는 구조를 개발하여 Drift를 방지했습니다. 이 제품은 45 또는 100°C로 온도를 제어하며, 우수한 장기간 안정성과 반복성을 제공하기 위해 업데이트된 온도 제어 전자장치가 포함되어 있습니다.

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    특징 및 장점
    • 이 제품은 온도를 45°C 또는 100°C로 조절하여 최대 0.12% (of Reading)의 정확도를 제공합니다.
    • 압력에 직접적으로 비례하는 0 - 10 VDC의 아날로그 출력을 제공합니다.
    • Etch Baffle Sensor로 인해 부산물이 센서에 도달하는 영향을 줄였습니다.
    • 정밀한 저압 측정을 위해 20 m(0.02)Torr의 Full Scale Range를 제공합니다.
    • 가스 노출 표면은 우수한 내식성의 Inconel®로 제작 됩니다.

       

      Description Spec Code Select
      Model
      • E29H
      • E29H
      Pressure mmHg (Torr)
      • 0.02 (45°C만 선택가능)
      • 0.05
      • 0.1
      • 0.2
      • 1
      • 2
      • 10
      • 20
      • 100
      • U2T
      • U5T
      • .1T
      • RET
      • 01T
      • 02T
      • 11T
      • 21T
      • 12T
      Fittings
      • 1/2 inch Tube
      • 8 VCR female
      • 1.33 inch OD CF
      • NW16 KF (range < 5000 Torr)
      • 8 VCO female
      • 2.75 inch OD CF
      • NW25 KF (range < 5000 Torr)
      • A
      • B
      • C
      • D
      • E
      • L
      • Q
      Accuracy (선택 가능한 조건을 확인)
      • 0.12% (45°C: 1. 2. 10. 20. 100 Torr시 선택)
      • 0.15% (45°C: 0.05. 0.1. 0.25 Torr시 선택)
      • 0.25% (45°C: 0.02 Torr시 선택 / 100°C: 1-1000 Torr시 선택)
      • 0.50% (100°C: 0.05. 0.25. 0.1 Torr시 선택)
      • C
      • D
      • E
      • F
      Temperature
      • 45°C
      • 100°C
      • J
      • L
      Options
      • Standard Configuration/Vertical Calibration
      • Optional Heater Status Indication/Vertical Calibration
      • External Zero/Vertical Calibration (45°C: 0.02 Torr / 100°C: 0.05 Torr 사양 선택불가)
      • Heater Status/External Zero/Vertical Calibration (45°C: 0.02 Torr / 100°C: 0.05 Torr 사양 선택불가)
      • Standard Configuration/Horizontal Calibration
      • Optional Heater Status Indication/Horizontal Calibration
      • External Zero/Horizontal Calibration (45°C: 0.02 Torr / 100°C: 0.05 Torr 사양 선택불가)
      • Heater Status/External Zero/Horizontal Calibration (45°C: 0.02 Torr / 100°C: 0.05 Torr 사양 선택불가)
      • 1
      • 2
      • 3
      • 4
      • 5
      • 6
      • 7
      • 8
      Connectors
      • 9 pin Type D with Thread Locks
      • 9 pin Type D with Slide Locks
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