631F Baratron® Manometer
매우 높은 내부 온도에서 작동하여 센서 내의 공정 부산물의 증착을 최소화하고 오염으로 인한 Output Drift를 방지합니다. 사용 가능한 작동 온도는 150°C 또는 200°C이며, 반도체 제조의 Metal Etching 및 Nitride Film Chemical Vapor Deposition (CVD)과 같은 진공 프로세스에서 사용할 수 있습니다.
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특징 및 장점
- 631F 제품은 온도를 150°C 또는 200°C의 작동 온도로 내부 오염을 줄입니다.
- 압력에 직접적으로 비례하는 0 - 10 VDC의 아날로그 출력을 제공합니다.
- 외부 장비를 제어하기 위한 2 개의 Pressure Trip Relays가 있습니다. (Option)
- 내식성을 위해 Inconel® Sensor를 사용합니다.
- 갑작스런 압력 증가가 발생해도 제품의 성능에 영향을 미치지 않습니다.
- 소형 디자인과 내부 전자 장치로 공간을 절약합니다.
