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    GV50A Mass Flow Controller

    G-Series GE50A Digitally-Controlled Mass Flow Controller는 RS485, Profibus™, EtherCAT®, PROFINET, 또는 DeviceNet™ I/O 중 하나로 사용할 수 있습니다. 이 제품은 최신 MKS 제어 알고리즘을 활용하여 장치 제어 범위 내에서 빠르고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 일반적인 응답 시간은 약 600~800 millisecond 정도입니다. Digital Calibration을 통해 Calibration Gas에서 Set Point의 1% 정확도를 제공합니다.

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    특징 및 장점
    • Flow range는 5 sccm에서 50,000 sccm(50 slm)까지 입니다. (Option)
    • Seal 및 Valve Plug는 Viton, Buna, Neoprene 또는 Kalrez를 선택 할 수 있습니다.
    • 다양한 디지털 (EtherCAT, DeviceNet™, Profibus®, PROFINET 및 RS485) 또는 아날로그 (0-5 VDC 또는 4-20 mA) I/O 선택 가능합니다.
    • Shut-off Valve Leak Rate은 HE 기준 4x10E-09 atm-cc/sec 이하 입니다.
    • Controller Settling Time은 750 millisecond 미만 입니다.

       

       

       

      Description Spec Code Select
      Model
      • MFC Mass Flow Controller GV50A
      • GV50A
      Gas (per Semi Standard E52-0703) (Downloads 메뉴 Sample Mass Flow Controller Gas Codes 자료에서 확인)
      • Nitrogen = N2
      • Ammonia = NH3
      • Sulfur Hexafluoride = SF6
      • Argon = Ar
      • Hydrogen = H2
      • Oxygen - O2
      • Helium = He
      • 그 외 가스 선택 (견적 제출 시 비고 란에 GAS 및 CODE 기재)
      • 013
      • 029
      • 110
      • 004
      • 007
      • 015
      • 001
      • XXX
      Flow Range Full Scale
      • 5 sccm
      • 10 sccm
      • 20 sccm
      • 50 sccm
      • 100 sccm
      • 200 sccm
      • 500 sccm
      • 1000 sccm
      • 2000 sccm
      • 5000 sccm
      • 10000 sccm
      • 20000 sccm
      • 30000 sccm
      • 50000 sccm
      • 500
      • 101
      • 201
      • 501
      • 102
      • 202
      • 502
      • 103
      • 203
      • 503
      • 104
      • 204
      • 304
      • 504
      Fittings (compatible with)
      • 6 mm Swagelok
      • 8 mm Swagelok
      • 10 mm Swagelok
      • 12 mm Swagelok
      • 1/8 inch Swagelok (N2기준 1000 sccm 이하만 사용가능)
      • 1/4 inch Swagelok
      • 1/2 inch Swagelok
      • 3/8 inch Swagelok
      • Swagelok 4 VCO male
      • Swagelok 4 VCR male
      • Swagelok 8 VCR male
      • Swagelok 8 VCO Male
      • Swagelok 2 VCR Male (N2기준 1000 sccm 이하만 사용가능)
      • KF-16
      • M
      • E
      • p
      • F
      • A
      • S
      • K
      • J
      • G
      • R
      • T
      • D
      • B
      • U
      Connector
      • EtherCAT
      • DeviceNet
      • RS485 (9 pin D connector)
      • Profibus (1480 Compatible)
      • Profibus (1179B Compatible)
      • PROFINET
      • Analog 0 to 5 VDC (9 pin D connector)
      • Analog 0 to 5 VDC (9 Pin D connector. Tied Ground)
      • Analog 0 to 5 VDC (15 pin D connector)
      • Analog 0 to 5 VDC (15 pin D connector. Tied Ground)
      • Analog 4 to 20 mA (15 pin D connector)
      • 8
      • 6
      • 5
      • 4
      • 3
      • 9
      • A
      • L
      • B
      • M
      • H
      Seal Material
      • Viton
      • Buna-N
      • Neoprene
      • EPDM
      • Kalrez
      • V
      • B
      • N
      • E
      • K
      Valve/Device Type
      • Normally Closed
      • 0
      Firmware
      • Unless otherwise specified. MKS will ship firmware revision current to date.
      • 20
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