1179C Mass Flow Controller
1179C는 다양한 응용 분야에서 기체의 유량을 측정하고 제어하기 위해 설계된 일반용 질량 유량 컨트롤러입니다. 1179 Mass-Flo® Controller(MFC)는 10 sccm에서 20 slm까지의 Full Scale Range로 사용 가능하며, 최소 0.2 sccm까지 빠르고 반복적인 유량 제어를 제공합니다.
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특징 및 장점
- Flow range는 10 sccm에서 20,000 sccm(20 slm)까지입니다. (Option)
- 특허를 받은 센서 디자인은 탁월한 영점 안정성을 제공합니다.
- 이 제품은 빠른 Warm-Up 시간을 가집니다.
- 이전 MKS MFC 및 Power Supply / Readout Module과 호환됩니다.
