Global ZEUS

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제우스는 반도체, 디스플레이, 로봇, 재료 및 부품 분야에서 다양한 고객 요구에 맞춘 Total Solution을 제공합니다.

Single Type & Batch Type Wafer 세정 장비를 중심으로 전공정(Clean, Etch, Strip, RTP)과 Advanced Packaging 장비를 공급하며 반도체 Chemical 및 전자재료를 제공합니다.

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Display 산업의 열처리 공정 장비(HPCP / OVEN 등)를 개발·생산하며, 공장 자동화 시스템을 적용해 효율적인 생산 환경을 제공합니다.

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자체 개발한 Joint Module 기술을 기반으로 6-Axis, SCARA, Delta 등 다양한 산업용 로봇을 제공하며, 자동화 장비 및 생산 라인을 Turnkey 형태로 제공합니다.

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반도체, 디스플레이, MEMS 등에 사용되는 고순도 화학 제품과 분석기, 컴포넌트를 공급하며, 품질관리와 기술개발을 지속적으로 강화하고 있습니다.

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1981

반도체 장비/부품 사업 진출

300mm Batch
Wafer wet processing

2000

일본 SES社 반도체 장비 부문 인수 후
(주)JET설립 (2009) Wet Cleaning Process
300mm Batch / Single System
제조 및 납품 시작

300mm Single Wafer Wet Processing
국산화 (8CHB)

2010

공정 Line-up 확대 Fab 공정 : HTS(High Temperature Sulfuric),
3HF, Poly, LAL500, FPM, O3HF 등
PKG : Flux Clean 등

2023년 TPM에서 JPX로 상장 이전

300mm Single Wafer
Wet Processing (12CHB)

2020

Advanced Packaging 공정 진출
Cleaner, Etcher, Stripper

RTP 공정 진출
High performance heater manufacturing

Rapid Thermal
Processing System

다양한 반도체
제조 공정 대응

FEOL / BEOL / PKG
Wet Etch 및 Clean에 대한
Total Solution 제공

다수의 양산 검증
장비 보유

Single / Batch
200mm / 300mm / Adv. PKG 기반의 풍부한 현장 경험과
R&D/Simulation 검증 기술 보유

고객 맞춤형
장비 제공

LAB / OSAT / IDM
1CHB ~ 12CHB
고객 맞춤 장비 제작

World wide +1,400
Systems 판매

국내외 다수의 양산 장비 판매
실적을 바탕으로 Global Value Chain 구축

Rapid Thermal
Processing [RTP]

RTP 핵심 기술 보유
반도체 외 산업군과
어플리케이션에 적용가능