946 Vacuum System Controller
946 모델은 다용도 진공 게이지 측정 및 제어 시스템입니다. 이 시스템은 최대 여섯 개의 다양한 Vacuum Gauge 또는 Mass Flow Controller에 대해 전원 공급과 동시에 읽기를 제공하며, 압력 제어 옵션도 제공합니다. 이 제품은 Baratron® Capacitance Manometers, Cold Cathode, Hot Cathode, Standard Pirani, Convection Pirani Sensor등 다양한 센서를 사용할 수 있으며, 초고진공부터 대기압 이상의 측정 범위를 지원합니다.
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특징 및 장점
- 6개의 다양한 Vacuum Gauge 또는 Mass Flow Controller를 동시에 제어하고 표시할 수 있습니다.
- 10,000 Torr에서 1.0E-11 Torr까지의 압력 측정이 가능합니다.
- MKS Valve와 함께 사용하기 위한 Closed-Loop Pressure Control 옵션이 제공됩니다.
- 시스템 통합의 편의를 위해 모든 구성에서 RS232/485 Computer Control이 기본적으로 제공됩니다.
- 여러 개의 Mass Flow Controller를 사용하여 유량 비율을 제어할 수 있습니다.
- 게이지 간 통신을 통해 기준 센서를 사용하여 다른 게이지의 Span 또는 Zero를 설정할 수 있습니다.
