ZEUS

产品

ZEUS在半导体、显示器、机器人、材料及零部件领域，提供符合多样化客户需求的全面解决方案。

以单片(Single Type)及槽式(Batch Type)晶圆清洗设备为核心，提供前道工序（清洗、刻蚀、去胶、快速热处理/RTP）及先进封装设备，并供应半导体化学品与电子材料。

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开发并生产显示器产业的热处理
工艺设备（HPCP / OVEN 等），并通过应用工厂自动化系统，提供高效的生产环境。

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基于自主研发的关节模块(Joint Module)技术，提供六轴(6-Axis)、SCARA、Delta等多种工业机器人，并以整案(Turnkey)形式提供自动化设备及生产线。

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供应半导体、显示器、MEMS等领域使用的高纯度化学产品、分析仪及组件(Component)，并持续加强质量管理与技术开发。

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为各行业及研究 提供客户定制化解决方案

MATERIALS