ZEUS

产品

ZEUS在半导体、显示器、机器人、材料及零部件领域，提供符合多样化客户需求的全面解决方案。

以单片(Single Type)及槽式(Batch Type)晶圆清洗设备为核心，提供前道工序（清洗、刻蚀、去胶、快速热处理/RTP）及先进封装设备，并供应半导体化学品与电子材料。

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开发并生产显示器产业的热处理
工艺设备（HPCP / OVEN 等），并通过应用工厂自动化系统，提供高效的生产环境。

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基于自主研发的关节模块(Joint Module)技术，提供六轴(6-Axis)、SCARA、Delta等多种工业机器人，并以整案(Turnkey)形式提供自动化设备及生产线。

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供应半导体、显示器、MEMS等领域使用的高纯度化学产品、分析仪及组件(Component)，并持续加强质量管理与技术开发。

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1992

Display In-Line System
进军事业

2000

HPCP 技术开发与国产化成功
In-Line System Global 进军市场
OVEN, Inspection 开始业务

2010

以世界市场占有率第一为基础,
获得世界一流商品认证

基于差别化的温控技术与升化物对策技术确保产品可靠性

2020

确保对应全世代(最高11G) 的设备

In-Line System
引领行业标准

HPCP
被选为世界一流商品

拥有多种热处理技术

确保优秀的Marketing &
Global Value Chain